Automatische amv HMDS Batch-Waferbearbeitungsanlage
Wirtschaftliche Serienproduktion
Um die Haftung von Fotolacken auf Oberflächen zu optimieren, kommen sogenannte Haftvermittler zum Einsatz, die die Haftfestigkeit verbessern und somit eine gleichmäßige Resistschicht gewährleisten. Ein Haftvermittler ist HMDS (Hexamethyldisilazan), der sehr oft in der Fotolithografie angewendet wird.
Die amv 200 ist eine von amcoss speziell entwickelte Anlage für die automatische HMDS-Prozessierung von Wafern in Serienfertigung und so einzigartig auf dem Markt. Wo Single-Wafer-Anlagen bei der HMDS-Bedampfung in Vapor Prime Modulen einzelner Substrate verfahrenstechnisch und mengenmäßig an ihre Grenzen stoßen, ist die amv 200, die gleichzeitig bis zu 125 Substrate in mehreren Kassetten bearbeiten kann, die richtige und besonders wirtschaftliche Alternative.
Ø 3″ – 5 Kassetten – 125 Wafer
Ø 100 mm – 4 Kassetten – 200 Wafer
Ø 150 mm – 3 Kassetten – 75 Wafer
Ø 200 mm (bzw. 8″) – 2 Kassetten – 50 Wafer
Im Vergleich zu HMDS-Öfen schneidet die amv 200 deutlich besser ab, was sich in einem günstigeren Cost-of-Ownership bemerkbar macht. So sind die Prozesszeiten zwischen 5 und 10 Mal kürzer, woraus sich ein wesentlich höherer Durchsatz ergibt. Der Bedarf an Komponenten, die einen hohen Kosten- und Wartungsaufwand erfordern, wie z.B. Vakuumpumpen, ist in der amcoss Anlage deutlich geringer. Teure Spezial-Carrier sind nicht notwendig. Investitions- sowie Servicekosten werden dadurch merklich reduziert. Auch in Sachen Sicherheit punktet die amv 200 Anlage: Sowohl Carrier als auch Substrate werden im Gegensatz zur Bearbeitung in Öfen nicht heiß und können direkt nach der Prozessierung einfach entnommen werden.
Da die Dämpfe, die bei der Prozessierung von HMDS entstehen können, nicht ganz unkritisch sind, haben wir besonderes Augenmerk auf die Sicherheit gelegt, um größtmögliche Prozess- sowie Anwendersicherheit zu gewährleisten. Der gesamte Prozess wird vollumfänglich und zu jeder Zeit über ein Modul unserer neuartigen ams pilot Software gesteuert und kontrolliert.
Prozesseffizienz und Arbeitssicherheit
Nachhaltigkeit durch Prozesseffizienz und Sicherheitseinrichtungen – zwei Aspekte, die in unserer amv 200 Anlage vereinigt sind. Wir nehmen diese Themen ernst, denn sie machen den Unterschied. Die zeitgleiche Bearbeitung einer großen Stückzahl an Substraten in einer Maschine, die wenige wartungs- und kostenintensive Komponenten enthält, verkürzt die Verfahrenszeit und erhöht so den Durchsatz. Explosionsschutz, kontrollierte Absaugung, Druckkontrolle, geringe Verfahrenstemperatur und andere Sicherheitsvorkehrungen sowie eine effektive Software tragen zur nachhaltigen Sicherheit bei.
Highlights
Durchdachte Features machen den Unterschied
Kassettenstation mit Detektion
Kassettenstation mit Detektion
Die Kassettenstation kann je nach Waferdurchmesser eine unterschiedliche Anzahl an Wafern (max. 125 St.) in 2 bis 5 Kassetten aufnehmen. Die Anzahl der Kassetten wird automatisch von den beiden Detektoren zur Lotüberwachung erkannt und dann registriert.
Touchscreen für die Bedienung der amcoss ams pilot software
Touchscreen für die Bedienung der amcoss ams pilot software
Unsere intelligente ams pilot Software kommt auch bei der amv 200 für die Prozesskontrolle und die einfache, komfortable Rezepterstellung zum Einsatz. Standardmäßig dient ein schwenkbarer Industrie-PC mit Touchscreen und SECS/GEM Verbindung zur Bedienung der Anlage.
Druckbehälter mit Druckkontrolle
Druckbehälter mit Druckkontrolle
Im Drucktank für die automatische HMDS Nachfüllung (bulk fill) ist eine Druckkontrolle integriert. Der Tank befindet sich in einem Überlaufblech und ist mit einer Leckagen-Erkennung ausgestattet. Eine Überwachung der HMDS Konzentration ist im Gehäuse angebracht.
Abgedeckte Ladestation inkl. Absaugung
Abgedeckte Ladestation inkl. Absaugung
Die Ladestation ist abgedeckt und wie auch das darunterliegende Maschinenkabinett mit einer kontrollierten Absaugung ausgestattet.
Prozesskammer aus Edelstahl mit HMDS Verdampfer
Prozesskammer aus Edelstahl mit HMDS Verdampfer
In der aus Edelstahl gefertigte HMDS Prozesskammer ist der Prozess Dank cleverer Produktmerkmale jederzeit kontrollier- und beherrschbar:
- Integrierter HMDS Verdampfer mit kontrolliertem N2-Fluß
- Kontrolle des HMDS Gehaltes
- Kontrollierte HMDS Absaugung
- Ablaufventil für den HMDS Tank
Sicherheitsvorkehrungen
Sicherheitsvorkehrungen
An den Türen befindet sich zum Schutz des Anlagenbedieners ein Sicherheitsschalter: wird die Anlage während des laufenden Betriebes geöffnet, wird der HMDS Prozess sofort gestoppt.
Außerdem sind alle relevanten Teile in explosionsgeschützten Ausführungen verbaut, um die Anlage sicher zu machen.
Download Flyer automatische amv 200 HMDS Batch-Waferbearbeitung