Hausinternes Labor „Smart Lab by amcoss“
Ihre Prozesse laufen in unserem Labor
möchten wir unsere Kunden aktiv in zweierlei Hinsicht unterstützen:
Kleinserienfertigung@amcoss
– kundenspezifisch bearbeitete Wafer trotz kleiner Stückzahl
Gerne können wir die Produktion von kleinen Stückzahlen oder die Vorserienproduktion auf Wunsch für Sie übernehmen, wenn Sie keine entsprechende Bearbeitungsmöglichkeit besitzen oder Ihre Anlagen für die Kleinserienfertigung nicht geeignet sind. Sie nennen uns Ihre Anforderungen und Prozessparameter und wir bearbeiten Ihre Wafer und Substrate genau nach Ihren Angaben und Bedürfnissen.
Testläufe und Prozessqualifizierung@amcoss
– für eine zweifelsfreie Kaufentscheidung
Es ist uns ein Anliegen, Ihnen eine fundierte Entscheidungsgrundlage für den Kauf einer Anlage von amcoss zu bieten, so dass Sie die für Sie perfekte Waferbearbeitungslösung erhalten.
Die Investition in eine Waferbearbeitungsanlage ist ein komplexes Verfahren, bei der vorab viele wichtige Entscheidungen getroffen werden müssen. Die Anforderungen an einzelne Prozesse sind ebenso zu berücksichtigen, wie deren Kombinationsmöglichkeiten, individuelle Produktionsgegebenheiten und viele andere, bedeutende Aspekte. In unserem Smart Lab können mit Hilfe von Anlagendemonstrationen, Testläufen und der Erprobung neuer Verfahrensmöglichkeiten Ihre kaufentscheidenden Argumente praktisch untermauert werden und eine fundierte Prozessevaluierung und somit Anlagenqualifizierung frühzeitig stattfinden. Außerdem können Sie sich von der Leistungsfähigkeit und komfortablen Bedienbarkeit unserer ams pilot Anlagensoftware überzeugen. Anlagen- und Softwareschulungen sind natürlich ebenfalls möglich.
Unsere hochqualifizierten Mitarbeiter erklären Ihnen alle Details unserer Anlagen und Prozesse. Am Ende erhalten Sie selbstverständlich einen ausführlichen Bericht mit Bildern und Videos der Testläufe sowie mit allen Testergebnissen und allen notwendigen Angaben zur Maschinenkonfiguration, den Prozessen und Rezepten. Außerdem kann unmittelbar nach der Vorführung ein Qualitätscheck der Prozessergebnisse an unseren Inspektionsgeräten erfolgen.
Online- oder Präsenz-Demos – alles ist möglich!
Sie können sich entscheiden, ob Sie unser Smart Lab persönlich aufsuchen, oder ob Sie allen Tests und Vorführungen online beiwohnen möchten. Gerade in der heutigen Zeit, wo das Thema Umwelt- und Klimaschutz immer wichtiger wird und daher Fahrten und Flüge reduziert und Reisekosten eingespart werden sollten oder wo auch zukünftig mit Reisebeschränkungen gerechnet werden muss, sind Live-Demos über das Internet mehr als sinnvoll.
Während unsere Anlageningenieure das System bedienen und Prozesse ablaufen lassen, erhalten Sie über eine entsprechende Software (Team Viewer o.ä.) zeitgleich Einblick in
- den Anlagen-PC (Rezepte, Scheduling, etc.)
- die Kamera in der Anlage zur genauen Beobachtung der Prozessabläufe
- Kameras an Inspektionsgeräten zur Kontrolle der Prozessergebnisse
Technische Ausstattung
Reinraum- und Anlagenspezifikation
- Größe: 25 qm
- Klima: klimatisierter und luftgekühlter Reinraum
- Klasse: Reinraum Standard 1000 mit Gelblicht
- Zusätzlicher, verglaster Montagereinraum mit einer leistungsstarken Lüftungsanlage
- 1 x amc 1000+ für Belackung, Entwicklung und Heizen von Wafern bis Ø 200 mm oder quadratischen Substraten
- 1 x amr 300 Prozesseinheit für Lift-off und Solvent Strip von Wafern bis Ø 300mm oder quadratischen Substraten
- 1 x amr 300 Prozesseinheit für Entwicklung und Reinigung von Wafern bis Ø 300mm oder quadratischen Substraten
- 1 x amr 300 Kontrolleinheit
Mögliche Prozesse im amcoss Smart Lab
Für eine Vielzahl an realisierbaren Lösungen
- Puddle-Belackung
- Spray-Belackung
- EBR
- EBR an quadratischen Substraten
Belackung
- Puddle-Entwicklung
- Spray-Entwicklung
Entwicklung
- Lift-off mit Hochdruckdüse
- Lift-off mit Megaschall
- Solvent Strip
Lift-Off
- Vorderseite, Rückseite und Edge Bevel mit DIW, Lösungsmitteln und verdünnten Säuren und Laugen
- Megasonic
- Hochdruck
- Bürste
Reinigung
- Heizplatten bis 250 °C
- Deckelheizung
- HMDS-Station
Temperierung
Inspektion und Qualitätskontrolle
Bestätigte Qualität der Prozessergebnisse
Unmittelbar nach dem Testlauf oder der Vorführung kann noch im Reinraum oder in unserem angegliederten Labor die Qualität der Prozessergebnisse auf den Substraten überprüft werden. Unser spezielles Labor, in dem u.a. Optiken und andere Komponenten für Fotolithografie, RTP, CVD, EPI, Inspektion und Metrologie repariert und gebaut werden, ist mit hochprofessionellen Test-, Mess- und Kalibriergeräten sowie einer Flowbox, Arbeitsplätzen mit Luftabsaugung und einem separaten Laserlabor ausgestattet.
Inspektionsausrüstung
- Auflicht-Mikroskop – für die Inspektion von undurchsichtigen Substraten
- Durchlicht-Mikroskop – für die Inspektion von durchsichtigen Substraten, wie z.B. Masken
- Optisches Gerät zur Schichtdicken-Messung – zum Messen der aufgebrachten Lackdicke