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Unsere Produkte

Ganzheitliche Lösungen für die Substratprozessierung

amc
Vollautomatische
Einzelwafer-Bear­beitung

Die amc-Serie bietet kompakte, individuell konfigurierbare, vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen für unzählige Prozessmöglichkeiten und unterschiedlichste Ansprüche an den Durchsatz bzw. Flexibilität.

amr&amt
Halbautomatische
Einzelwafer-Bear­beitung

Die halbautomatischen Single Wafer Bearbeitungsanlagen aus der modularen amr-Serie sowie die beiden Modelle unserer amt Hotplate (Tischgerät) sind auf die Bedürfnisse in der hochflexiblen Einzel- und Kleinserienfertigung von Wafern zwischen 2” und 300 mm optimiert.

amv
Automatische HMDS
Batch-Waferbear­beitung

Die amv 200 Batchanlage steigert die Effizienz der HMDS-Prozessierung von Substraten, denn eine große Stückzahl wird gleichzeitig bearbeitet und die Prozesszeit ist deutlich kürzer als bei HMDS-Öfen. Das erhöht den Durchsatz spürbar.

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ams
Digitale Prozesssteuerung ams PILOT (Software)

Die moderne, selbsterklärende ams PILOT Software sorgt für eine intelligente, lückenlose Steuerung aller Prozesse in amcoss Anlagen oder Maschinen anderer Hersteller. Sie entspricht den Vorgaben des Semi-Standards E95-1101.

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amh
Prozess­temperierung (Heat Exchanger & Chiller)

Zum Temperieren von Prozessen in der Mikrosystem- und anderen Fertigungstechnologien bietet amcoss amh Heat Exchanger sowie amh Chiller im Temperaturbereich von 0 °C bis 95 °C. Sie ersetzen alte Temperiergeräte anderer Hersteller.

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amcoss amh 090 und amh 050
amcoss vending machine

Zubehör

Durchdachtes Zubehör für unsere amcoss Anlagen bzw. zur Nachrüstung in Maschinen anderer Hersteller, wie unser Trap Tank System und ein Automat zur optimierten Lagerung und bedarfsgerechten Versorgung mit Lacken im Produktionsprozess ergänzen und komplettieren unsere breite Produktpalette.

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