Unsere Produkte
Ganzheitliche Lösungen für die Substratprozessierung
amc
Vollautomatische
Einzelwafer-Bearbeitung
Die amc-Serie bietet kompakte, individuell konfigurierbare, vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen für unzählige Prozessmöglichkeiten und unterschiedlichste Ansprüche an Durchsatz bzw. Flexibilität.
amr
Halbautomatische
Einzelwafer-Bearbeitung
Die halbautomatischen Single Wafer Bearbeitungsanlagen aus der modularen amr-Serie sind auf die Bedürfnisse in der hochflexiblen Einzel- und Kleinserienfertigung von Wafern zwischen 2” und 300 mm optimiert.
amv
Automatische HMDS
Batch-Waferbearbeitung
Die amv 200 Batchanlage steigert die Effizienz der HMDS-Prozessierung von Substraten, denn eine große Stückzahl wird gleichzeitig bearbeitet und die Prozesszeit ist deutlich kürzer als bei HMDS-Öfen. Das erhöht den Durchsatz spürbar.
ams
Digitale Prozesssteuerung mit der ams PILOT Software
Die moderne, selbsterklärende ams PILOT Software sorgt für eine intelligente, lückenlose Steuerung aller Prozesse in amcoss Anlagen oder Maschinen anderer Hersteller. Sie entspricht den Vorgaben des Semi-Standards E95-1101.
Zubehör
Durchdachtes Zubehör für unsere amcoss Anlagen bzw. zur Nachrüstung in Maschinen anderer Hersteller, wie unser Trap Tank System und ein Automat zur optimierten Lagerung und bedarfsgerechten Versorgung mit Lacken im Produktionsprozess ergänzen und komplettieren unsere breite Produktpalette.