Unsere Produkte
Ganzheitliche Lösungen für die Substratprozessierung
amc
Vollautomatische Einzel-Waferbearbeitung
Die amc-Serie bietet kompakte, individuell konfigurierbare, vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen für unzählige Prozessmöglichkeiten und unterschiedlichste Ansprüche an den Durchsatz bzw. Flexibilität.
amr
Halbautomatische Einzel-Waferbearbeitung
Die halbautomatischen Single Wafer Prozessoren aus der modularen amr-Serie sind auf die Bedürfnisse in der hochflexiblen Einzel- und Kleinserienfertigung von Wafern zwischen 2” und 300 mm optimiert.
amv
Automatische HMDS Batch-Waferbearbeitung
Die amv 200 Batchanlage steigert die Effizienz der HMDS-Prozessierung von Substraten, denn eine große Stückzahl wird gleichzeitig bearbeitet und die Prozesszeit ist deutlich kürzer als bei HMDS-Öfen. Das erhöht den Durchsatz spürbar.
ams
Digitale Prozesssteuerung ams pilot (Software)
Die moderne, selbsterklärende ams pilot Software sorgt für eine intelligente, lückenlose Steuerung aller Prozesse in amcoss Anlagen oder Maschinen anderer Hersteller. Sie entspricht den Vorgaben des Semi-Standards E95-1101.
amh
Prozesstemperierung (Heat Exchanger & Chiller)
Zum Temperieren von Prozessen in der Mikrosystem- und anderen Fertigungstechnologien bietet amcoss amh Heat Exchanger sowie amh Chiller im Temperatur-bereich von 0 °C bis 95 °C. Sie ersetzen alte Temperiergeräte anderer Hersteller.
