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Digitale Prozesssteuerung ams pilot

Die ams pilot Software ist das Herzstück unserer amcoss Anlagen. Sie wurde speziell programmiert, um den ständig wachsenden Anforderungen in der Wafer- und Substratbearbeitung dauerhaft gerecht zu werden. ams pilot entspricht vollumfänglich den Vorgaben des Semi-Standards E95-1101.

Digitale ams pilot Prozesssteuerungssoftware

Nutzenbringend auch für Anlagen anderer Hersteller

Selbstverständlich kommt die ams Software in allen amcoss Waferbearbeitungsanlagen zur Prozesskontrolle zum Einsatz. Darüber hinaus ist sie jedoch dahingehend aufgebaut, dass sie jederzeit und einfach zur Steuerung von Prozessen in Anlagen anderer Hersteller verwendet werden kann. Sie wird dazu von unseren Experten entsprechend umprogrammiert, an die Kundenanforderungen angepasst und auf die jeweilige Maschine übertragen. Auf diese Weise können auch Anlagen mit weniger intelligenten und modernen Softwarelösungen von den cleveren und hilfreichen Optionen und Funktionen der ams pilot profitieren.

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ams pilot

Programmierte Zukunftstauglichkeit

Auch bei unserer ams pilot Software legen wir auf Nachhaltigkeit größten Wert, denn sie ist eine wichtige Schnittstelle zwischen Mensch und Maschine. Alle Funktionen und ihre intuitive Bedienbarkeit sind auf verschiedenste Aspekte des Themas „Zukunftsfähigkeit“ ausgerichtet. Dass sie den neuesten Standards und Technologien entspricht, ist selbstverständlich. Durch die hochpräzise Systemkontrolle sorgt sie für einen flexiblen und reibungslosen Produktionsablauf und trägt zur permanenten Prozessoptimierung und -effizienz bei, indem beispielsweise der Durchsatz erhöht, Ausschuss reduziert und Ausfälle vermieden werden. ams pilot ermöglicht die einfache Reproduzierbarkeit der Abläufe, was die Anzahl der Gut-Teile erhöht. Für den Anwender verbessert sie außerdem mit Hilfe von komfortablen Wartungsfunktionen die Servicierbarkeit der Anlage und erhöht seine Arbeitssicherheit. Nicht zuletzt unterstützt die amcoss Software mit ihrem integrierten Energy Safe Mode die Energieeffizienz und schont Ressourcen, denn es werden sowohl Energie als auch Medien gespart.

Highlights

Intelligente Funktionen für optimierte Prozesse

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Benutzer­­­­­­­freundliche, selbsterklärende Oberfläche

Benutzer­freundliche, selbsterklärende Oberfläche

Die Benutzeroberfläche besticht nicht nur durch ihr modernes und attraktives Design, sondern ist auch besonders anwenderfreundlich, selbsterklärend, ergonomisch sowie intuitiv bedienbar und das für Rechts- und Linkshänder gleichermaßen. Design, Funktion sowie Platzierung und Anordnung von optischen und Bedienelementen entsprechen dem Semi-Standard E95-1101. Das harmonisiert und vereinfacht das Handling des gesamten Systems.

Einfache-Rezepterstellung

Einfache Rezepterstellung

Einfache Rezepterstellung

Um individuelle Rezepte zu schreiben oder zu ändern, sind keine Programmierkenntnisse notwendig. Außerdem ist es möglich, Rezepte einfach und bequem am eigenen PC zu erstellen und über ein Netzwerk auf die amc bzw. amr Anlage zu übertragen.

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Integriertes Scheduling

Integriertes Scheduling

Die Scheduling-Funktion ist ein leistungsfähiges und sehr präzises Werkzeug für die Kontrolle des gesamten Prozesszyklus und die Abfolge der individuellen Sequenzen. Ziel ist immer der optimale Durchlauf der Substrate und der maximal mögliche Durchsatz. Zusätzlich ist eine manuelle Sequenzoptimierung möglich, z.B. für bewusst gewünschte Delays.

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Log-Funktion für informatives Reporting

Log-Funktion für informatives Reporting

Das eingegliederte Log File erstellt lückenlose und umfangreiche Maschinen-Reports aller produzierten Lose und nicht nur einfache Fehlerlogs. Die Eingabe von Los-Identifikationen ist einstellbar, genauso wie individuelle Speichermodi. Mit nur wenigen Mausklicks werden sowohl aktuelle als auch ältere Daten angezeigt. Alle Daten können in Standard-Dateiformate exportiert werden.

Button Energy Save Mode

Umwelt­freundlich und energie­sparend

Umweltfreundlichkeit und Energiekostenreduzierung

Mit nur einem Klick reduziert die Software den Energie- und Medienverbrauch des gesamten Systems, was auch mittels Timer kontrolliert werden kann. Ein weiterer Mausklick versetzt die Anlage zurück in Betriebsbereitschaft. In Kombination mit unserer intelligenten Medienreduzierung während des Prozesses hilft dies unseren Kunden, ihre Energiekosten dauerhaft zu senken.

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Komfort­able Service- und Wartungs­funktionen

Komfortable Service- und Wartungsfunktionen

Die Software unterstützt Sie mit speziellen Servicefunktionen. Beispielsweise können Sie einfach jegliche defekten Teile und Komponenten ausfindig machen. Das separate Servicetablet ermöglicht es, die Software zu bedienen, auch wenn man sich nicht direkt am Bildschirm an der Maschine befindet, sondern an einer anderen Stelle an der Anlage oder in einem anderen Raum arbeitet. Während am Tablet gearbeitet wird, ist der Hauptbildschirm blockiert. Die Fernbedienung ist ein weiteres wichtiges Feature, mit dem die amc Anlage konfiguriert, geteacht oder serviciert werden kann.

Weitere Merkmale

Optionale SECS/GEM Schnittstelle

Das Thema Fab-Automatisierung wird immer wichtiger. Unsere ams software ist daher so konfiguriert, dass sie standardmäßige 200 mm und 300 mm SECS-Kommunikation unterstützt, wenn dies notwendig ist.

Prozessentwicklung

Die Kontrolle der Kassetten-Slots im Rezept ermöglicht es dem Prozessingenieur, die korrekten Prozessparameter durch die Definition von Varianten (wie beispielsweise Umdrehungsgeschwindigkeit des Medienflusses oder Temperatur) für jeden beliebigen Wafer innerhalb eines einzigen Rezeptes zu finden.
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Mandantenfähigkeit

Der eingeloggte Nutzer kann lediglich die für ihn relevanten Information sehen. Mit diesem Feature sind vertrauliche Informationen geschützt und nur für den autorisierten User sichtbar.
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