amc Vollautomatische Einzelwafer-Bearbeitung
Vollautomatische amc Wafer-Bearbeitungsanlagen
Kundenspezifische Prozesse mit Zukunftstauglichkeit
Gerade in der Mikrosystemtechnologie sind die Anforderungen an die Produktionsprozesse und Produktqualität sowie der Kostendruck in der Waferbearbeitung hoch. Genau hier setzen wir mit unseren amc Einzelwafer-Bearbeitungsanlagen an: wir fokussieren uns auf die Bedürfnisse unserer Kunden und auf eine attraktive Kosten-Nutzen-Kalkulation. Jedes Tool ist daher entweder auf flexible Einzelanwendungen oder auf hohen Durchsatz optimierbar. Unabhängig davon steuert die ams PILOT Software in jeder Anlage die Prozesse, unterstützt den Bediener und optimiert alle Abläufe. So erhalten Sie mit unseren Anlagen Lösungen für die Belackung, Entwicklung, Reinigung, Temperierung und das Lift-off von Substraten, mit denen Sie Ihre Ziele erreichen können.
Der Einsatz der richtigen Maschinen in der Produktion ist ein Aspekt, der die Nachhaltigkeit eines Unternehmens und dessen Produkte weitreichend beeinflusst. Mit dem Kauf einer Anlage von amcoss entscheiden Sie sich nicht nur für eine intelligente technische Lösung, sondern für mehr Effizienz in unterschiedlicher Hinsicht.
Prozesseffizienz
Kosteneffizienz
Ressourcenschonung und Energieeffizienz
Ergonomie und Sicherheit
Maschinentypen
Modular, flexibel, individuell – die amc Maschinenserie
Alle 5 amc Anlagenmodelle sind als anpassungsfähige Plattformen konzipiert, so dass individuelle Konfigurationen, Prozesslösungen und -kombinationen bei amcoss Standard sind. Dabei sind die Abmaße sehr kompakt und platzsparend – bei der amc 1000 beispielsweise, finden auf etwas mehr als einem Quadratmeter 3 Prozesse, 1 Wafer-Handling-Station und bis zu 4 I/O-Stationen Platz und es können flexibel Wafergrößen von 2″ bis 8″ bearbeitet werden.
amc 500 — Unsere „Mini-Anlage für innovative Nassprozesse
Diese extrem kompakte Anlage für Nassprozesse hilft dabei, teure Reinraumfläche optimal auszunutzen.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 300 mm oder bis zu 9 x 9“
- Bis zu 2 I/O-Stationen für 2″ bis 200 mm offene Kassetten oder 300 mm FOUP
- Max. 3 integrierte, individuell wählbare Chemie-Vorratsbehälter (mehr sind in einem externen Medienmodul möglich)
- 1 zweigeteilter Roboterarm mit einfachem Endeffektor für berührungsarmes Handling
- Außenmaße B x L: 740 mm x 1360 mm
- Eine separate Einhausung des Prozessmoduls aus beständigem Material ergänzt die Sicherheitsmerkmale
amc 1000 — Unser Einstiegsmodell in die vollautomatische Kleinserienfertigung
Extrem kleine Maschinenoberfläche mit vollautomatischen Prozessen otpimal genutzt.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 8“
- Bis zu 4 I/O-Stationen für 2″ bis 6″ (max. 4 x offene Kassetten oder 2x SMIF) oder
- Bis zu 2 I/O-Stationen für 8″ (offene Kassetten oder SMIF)
- Max. 3 individuell auswählbare Prozessmodule
- 1 zweigeteilter Roboterarm
- Außenmaße B x L: 1236 mm x 1150 mm
amc 2000 — Unser „Arbeitstier“ für flexibelste Anwendungen oder hohen Durchsatz
Hochflexible Maschinenkonfiguration und Bearbeitung von unterschiedlichen Wafergrößen.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 8“
- Bis zu 4 I/O-Stationen für Substrate von 2“ bis 8“ (max. 4 x offene Kassetten oder 2 x SMIF) oder
- Max. 5 individuell auswählbare Prozessmodule
- 1 zweigeteilter Roboterarm
- Außenmaße B x L: 1382 mm x 1596 mm
amc 2500 — Unser „Allrounder“ für vielzählige Prozesse und Substratvarianten
Kompaktes Leistungspaket für hohen Durchsatz.
- Waferdurchmesser: 2“ bis 8“
- Je nach Konfiguration des Wafer-Handlings bis zu 4 I/O-Stationen (max. 4 x offene Kassetten oder 3 x SMIF)
- Max. 7 individuell auswählbare Prozessmodule
- 2 zweigeteilte Roboterarme oder
- 1 zweigeteilter Roboterarm auf linearer Schiene
- Außenmaße B x L: 1414 mm x 2048 mm
amc 3000 — Etablierte Qualität für einen weiten Anwendungsbereich bis 300 mm
Bietet die Möglichkeit der FOUP Beladung mittels Roboter oder Schienensystem sowie die Integration einer optionalen 300 mm SECS.
- Waferdurchmesser : 150 mm bis 300 mm oder 7 x 7” bis 9 x 9
- Bis zu 4 I/O stations für 150 mm bis 200 mm offene Kassetten oder 300 mm FOUP
- Max. 5 individuell auswählbare Prozessmodule
- 1 zweigeteilter Roboterarm mit einfachem oder doppeltem Endeffektor
- Außenmaße B x L: 2082 mm x 2003 mm
Highlights
Mehrwert durch ausgereifte technische Details
Substratvielfalt
Substratvielfalt
Jede amc Anlage ist ein wirkliches Bridgetool, d.h. verschiedene Substratgrößen können gleichzeitig prozessiert werden. Es sind beim Größenwechsel keine technischen Anpassungs- und Umbauarbeiten notwendig. Größtmögliche Flexibilität ist somit gewährleistet. Der intelligente Kassetteneinschub-Scanner identifiziert mit Laser-Sensoren die Substratgröße, den Kassettentyp, die Substratwölbung und –dicke, gemischt oder doppelt befüllte Slots und den Waferüberstand.
Substrat-Palette
Dünn
80µm, 6“, Bogen konkav / konvex
150µm, 8“, Bogen konkav / konvex
Dick
15mm, 6“, Gewicht 0,75kg
Form
rund 2” – 12”
quadratisch, rechteckig, bis zu 8” x 8”
Materialien
Si, SiC, GaN, GaAs, Saphir, Glas, etc.
Echte Through-the-Wall-Montage
Echte Through-the-Wall-Montage
Aufgrund der Ausführung des Prozessraums als HTU und die somit voll klimatisierte Anlagenatmosphäre (Temperatur, Luftfeuchtigkeit) mit Partikelfilter ist eine echte Through-the-Wall-Montage mit all ihren Vorteilen möglich.
Einfacher Zugang zu allen Komponenten
Einfacher Zugang zu allen Komponenten
Alle Anlagentüren und -fenstern an der Seite und Rückseite der Maschine lassen sich einfach komplett herausnehmen und platzsparend auf die Seite stellen. Besonders die rahmenlosen Seitenfenster haben außerdem ein sehr geringes Gewicht. Damit ist ein komfortabler Zugang zu allen Modulen und Steuerungskomponenten bei Umrüst- und Instandhaltungsarbeiten gewährleistet.
Einzigartiges Maschinendesign
Einzigartiges Maschinendesign
Bei der Erarbeitung des edlen Designs durch einen Industriedesigner lag der Fokus nicht nur auf einer modernen Optik, sondern besonders auf Anwenderfreundlichkeit, Funktionalität und Ergonomie: Die großen Fenster ermöglichen einen guten Einblick und Zugang in die Maschine, alle Bedienelemente sind vorteilhaft angeordnet, die beiden integrierten LED Statusanzeigen sind aus unterschiedlichsten Richtungen gut zu sehen. Die anthrazitfarben beschichtete Oberfläche ist zum einen unempfindlich gegen chemische Reinigungsmittel und zum anderen absorbiert sie das Gelblicht im Reinraum, was für das Auge angenehmer ist.
Reduktion von Steuerungskomponenten
Reduktion von Steuerungskomponenten
Durch eine intelligente Konstruktion, einen vorteilhaften Maschinenaufbau und den Einbau von standardisierten Industriekomponenten konnte die Teilevielzahl und -vielfalt bei den Steuerungs- und anderen Komponenten deutlich reduziert werden. Das reduziert die Fehleranfälligkeit, spart Materialkosten, erleichtert den Service und senkt somit insgesamt Kosten- und Arbeitsaufwand.
Flexible Maschinenanpassungen
Flexible Maschinenanpassungen
Der modulare Aufbau und die anpassungsfähige Software gewährleisten, dass selbst bei unseren Kunden vor Ort die amc Anlage einfach umgebaut und erweitert werden kann. Wenn eine Anlage nicht mit Prozesseinheiten voll belegt ist, ist die Installation eines weiteren Prozessmoduls durch die integrierte Umrüstvorrichtung leicht möglich. Hot- und Coolplates lassen sich aufstocken. Somit erhalten unsere Kunden schnell Lösungen, wenn sich ihre Prozessanforderungen ändern.
Einfache Instandhaltung
Einfache Instandhaltung
Die gesamte Elektronik ist von der Hinterseite der Maschine komfortabel zugänglich und oberhalb der Medienführung platziert und somit klar von ihr getrennt. Die Verwendung von langlebigen, bewährten Standardkomponenten, der einfache Ausbau von Bowls sowie Hotplates und viele der bereits genannten Highlights erleichtern die Instandhaltung und reduzieren den Wartungsaufwand sowie die Stillstandzeiten. Unterstützt wird das Ganze außerdem von der ams PILOT Software mit ihren komfortablen Servicefunktionen.
Einzigartiges Bedienkonzept
Einzigartiges Bedienkonzept
Sowohl die ams PILOT Steuerungssoftware als auch der gesamte Anlagenaufbau sind auf größtmögliche Benutzerfreundlichkeit, Ergonomie und komfortables Handling ausgelegt. Die moderne Software ist intuitiv bedienbar und unterstützt auch unerfahrene Anwender. Zudem kann das Bedien- und Servicepersonal alle Maschinenbereiche einfach, bequem und sicher handhaben.
