12. Feber 2021 | Produkte
Neuartiges Recycling von Chrom-Ätzmitteln
Chromätzen und nachhaltige, umweltfreundliche Prozesse sind nicht länger ein Widerspruch!
Die amcoss GmbH und die FIMA-Chem GmbH haben gemeinsam eine Fertiglösung für das Chromätzen entwickelt. Während FIMA-Chem die beizumischenden Chemikalien liefert, hat amcoss die entsprechende Hardware konstruiert und in ihre Waferbearbeitungsanlagen integriert.
Durch den Einsatz einer neuartigen Technologie sind wir in der Lage, bereits in der Anlage die Ätzflüssigkeit zu recyceln, die dann direkt dazu wiederverwendet werden kann, ein anderes Substrat zu ätzen. Mit Hilfe von hochkonzentrierten Zusatzstoffen wird das gebrauchte Ätzmittel wieder aufgefrischt und so für eine erneute Prozessierung vorbereitet. Auf diese Weise kann die Ätzchemikalie höchst effizient genutzt und so die Auswirkungen auf die Umwelt sowie Kosten für die Chemikalien signifikant reduziert werden.
Vorteile
- Signifikante Einsparung von Prozesskosten
- Erheblich geringerer Einfluss auf die Umwelt durch reduzierten Einsatz von Chemikalien und weniger Abfall
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