amh
Prozesstemperierung

Zum Heizen bzw. Kühlen von Prozessen in der Mikrochip-Produktion in AMAT, Neslab , LAM, TEL, Mattson und anderen Anlagen bietet amcoss amh Heat Exchanger für den Temperaturbereich von 30 °C bis 95 °C sowie amh Chiller für den Temperaturbereich von 0 °C bis 60 °C

amh Heat Exchanger & Chiller

Individuelle Lösungen für die Prozesstemperierung

amcoss Temperiergeräte ersetzen herkömmliche teure oder nicht mehr erhältliche Heat Exchanger und Chiller, wie beispielsweise AMAT 0 & 1, Neslab Steelhead und Endura, LAM TCU, Beta Tech sowie HX150/HX300 und andere. Sie werden von uns gemäß den spezifischen Kundenwünschen vorbereitet und ausgestattet. Dank kompatibler, proprietärer Schnittstellen, die wir einbauen und entsprechend konfigurieren und mit denen wir die Standard-Schnittstellen ersetzen, können unsere Geräte für eine „Plug-und-Play-Verwendung“ unmittelbar an den Kundenmaschinen eingesetzt werden und sind sofort betriebsbereit. Auch andere individuelle Konfigurationen (z.B. Widerstandsmessung) sind möglich. Unsere Kunden erhalten also personalisierte Geräte, die an ihre eigenen Prozessanforderungen angepasst werden und müssen nicht selbst Lösungen finden und umsetzen. Das vereinfacht die Sourcing-Prozesse und erhöht die Kosteneffizienz.

amcoss Geräte haben ein sehr gutes Preis-Leistungsverhältnis und sind wirtschaftlicher als OEM Temperiergeräte. So können Zeit und Kosten gespart werden.

Robustes Design, lange Lebensdauer

amcoss amh Temperiergeräte sind robust, zuverlässig und effizient – alles Aspekte, die für einen nachhaltigen Betrieb unerlässlich sind. Die Verwendung von Qualitätsteilen und -komponenten, die schnörkellose, robuste Bauweise und unterstützende Features, wie z.B. der Widerstandssensor, verlängern die Lebensdauer unserer Geräte, reduzieren den Instandhaltungsbedarf und garantieren einen verlässlichen Betrieb. Da sie Temperaturkontrollgeräte ersetzen können, die auf spezielle Prozessanlagen ausgelegt sind und die der OEM teilweise nicht mehr anbietet oder repariert, können unsere amh Geräte auch die Einsatzdauer dieser Anlagen erhöhen. Zusammen mit einem geringen Energieverbrauch und den Vorteilen der Plug-und-Play-Möglichkeit für eine einfache Verwendung gewährleistet das alles bestmögliche Effizienz in Bezug auf Prozesse, Kosten und Bedienbarkeit.

amh Heat Exchanger 30 – 95 °C

Übersicht-amcoss-amh-Heat-ExchangerTemperiergeräte
Mehr zu amh Heat Exchanger

amh Chiller 5 – 60 °C / 0 – 40 °C / 5 – 40 °C

Übersicht-amcoss-amh-Chiller-Temperiergeräte
Mehr zu amh Chiller

amcoss amh Heat Exchanger

Für Temperaturen von 30 – 95 °C

Die amh Heat Exchanger-Serie deckt einen großen Temperaturbereich von 30 °C bis 95 °C ab. Die Geräte ersetzen alte oder teure Temperaturkontrollgeräte von AMAT, Neslab und anderen OEM und funktionieren perfekt mit einer Vielzahl von Anlagen und Prozessen. amcoss amh Geräte sind eine leistungsfähige und wirtschaftliche Alternative für die Mikrochip- und Halbleiterfertigung.

amcoss amh Heat Exchanger Gruppe

amh 080 — Für den Ersatz von AMAT 0 und 1 Heat Exchanger & Neslab Steelhead

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 30 – 95 °C
  • Heiz- / Kühlleistung: 6 kW / 6 kW
  • Pumpenkapazität: Max. 5,5 bar; typischer Betrieb: 5 bar @ 24 l/min
  • Anzahl der Leitungen für das Prozesswasser: Max. 3 + 1 für widerstandsregulierte, externe DI-Wasser-Kartusche
  • Arten der Anschlüsse für das Prozesswasser: Auf Anfrage – z.B. Parker, Swagelok etc.
  • Betriebsspannung: 3 x 380 Vac oder 3 x 200-208 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 310 / 670 / 750 mm
  • Gewicht: 60 kg
  • Remote-Schnittstelle: AMAT 5000 analog, digital IO oder CHX (RS485)
  • DI-Wasser-Kartusche: Extern – Verlängerung der Lebensdauer durch Widerstandsregulierung
amcoss-amh-080-heat-exchanger-Temperiergerät_2

amh 090 — Für den Ersatz von Neslab Steelhead, Neslab Endura, TEL MB Square

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 30 – 95 °C
  • Heiz- / Kühlleistung: 6 kW / 8 kW
  • Pumpenkapazität: Max. 8 bar; typischer Betrieb: 5 bar @ 40 l/min
  • Anzahl der Leitungen für das Prozesswasser: Max. 4 + 1 für widerstandsregulierte, externe DI-Wasser-Kartusche
  • Arten der Anschlüsse für das Prozesswasser: Auf Anfrage – z.B. Parker, Swagelok etc.
  • Betriebsspannung: 3 x 380 Vac oder 3 x 200-208 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 410/ 820/ 1020 mm
  • Gewicht: 100kg
  • Remote-Schnittstelle: AMAT 5000 analog, digital IO oder CHX (RS485)
  • DI-Wasser-Kartusche: Extern – Verlängerung der Lebensdauer durch Widerstandsregulierung
amcoss-amh-090-heat-exchanger-Temperiergerät_2

amh 090-S — Kompatibel mit Mattson Helios III und anderen

amh 090-S

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 30 – 95 °C
  • Heiz- / Kühlleistung: 6,5 kW / 40 kW
  • Pumpenkapazität: Max. 8 bar; typischer Betrieb: 5 bar @ 210 l/min
  • Anzahl der Leitungen für das Prozesswasser: Kundenspezifisch
  • Arten der Anschlüsse für das Prozesswasser: G2″ oder G1,5″ ID-Gewinde
  • Betriebsspannung: 3 x 400 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 530/ 1500/ 1220mm
  • Gewicht: 215 kg
  • Remote-Schnittstelle: Kundenspezifisch
  • DI-Wasser-Kartusche: Intern – Verlängerung der Lebensdauer durch Widerstandsregulierung
amcoss-amh-090-S-heat-exchanger-Temperiergerät_1

Highlights

plug-and-play-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Temperiergerät_2

Plug & Play Funktion

Plug & Play Funktion

Mit dem amcoss Heat Exchanger erhalten unsere Kunden eine sofort einsetzbare Lösung: Sie müssen keine eigenen Anpassungen und Adaptionen vornehmen, um einen Betrieb an ihrer Anlage überhaupt zu ermöglichen. Unser Gerät ist entsprechend vorbereitet, direkt anschließbar und sofort betriebsbereit. Das spart Zeit und somit Kosten.

Robust-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Temperiergerät_2

Robust und leistungs­stark

Robust und leistungsstark

Besonders das „Innenleben“ zeichnet sich durch eine robuste Bauweise aus: Das gesamte Rohrleitungssystem besteht aus rostfreiem Stahl, ebenso die besonders leistungsstarke Qualitätspumpe. Das garantiert eine lange Lebensdauer und minimalen Wartungsbedarf. Das Heizelement hat eine ausbalancierte und jeweils angepasste Größe der Heizstaboberfläche. Das schont das gesamte Heizelement sowie das Fluid und erhöht so die Leistungsstärke und die Lebensdauer.

Betriebsmodi-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Temperiergerät_2

Unterschied­liche Betriebsmodi und Displays

Unterschiedliche Betriebsmodi und Displays

  • Mögliche Betriebsmodi: local, CHX interface, DIO
  • Verschiedene Displays: Systemdruck, Temperatur (0,1°C Genauigkeit), Widerstand des Prozesswassers, etc.
  • Dreistufiger Mikroprozessor-Controller mit Temperaturkontrolle und automatischer Optimierung

Widerstandssensor-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Temperiergerät_1

Widerstands-Sensor & -Kontrolle

Widerstands-Sensor & -Kontrolle

amcoss amh Heat Exchanger sind mit einem Widerstandssenor ausgestattet. Dieser kontrolliert den Widerstand des Kühlmediums und regelt dessen Deionisierung. Sobald der Widerstand unter den vom Kunden eingestellten Schwellenwert fällt, wird das Medium über die Entsalzungspatrone geleitet. Ist der Schwellenwert wieder erreicht, wird die Deionisierung automatisch gestoppt.

Vorteile: Der Kühlmittelwiderstand bleibt konstanter, somit ist ebenfalls der Prozessablauf stabiler und sicherer. Die Entsalzungspatrone hält länger, da sie nicht dauerhaft beansprucht wird. Das senkt Betriebsmittelkosten.

Anschlüsse-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Tempergiergerät_2

Verschiedene Schnitt­stellen und Anschluss­stutzen

Verschiedene Schnittstellen und Anschlussstutzen

Unsere amcoss Temperiergeräte unterstützen unterschiedliche Remote-Schnittstellen, wie beispielsweise Digital IO, CHX (RS-485) etc. und können mit verschiedenen, wählbaren Steckertypen ausgestattet werden.
Außerdem können unsere Kunden individuell diverse Anschlussstücke (Parker, Swagelok, etc.) für die Flüssigmedien wählen. Die Anzahl der Anschlussstutzen für Vor- und Rücklauf wird vom Kunden festgelegt. So entsteht ein kundenspezifisches Gerät, was die Flexibilität und Einsatzmöglichkeiten verbessert.

Kostenreduzierung-amcoss-amh-Heat-Exchanger-Temperiergerät_1

Kostenredu­zierende Produkt­merkmale

Kostenreduzierende Produktmerkmale

Niedrige Betriebskosten
Die leistungsstarke Pumpe ist sehr wirtschaftlich und verbraucht wenig Energie. Alle Tanks und Verrohrungen sind wärmeisoliert, so werden Abstrahlverluste minimiert. Die Entsalzungspatrone hat eine höhere Lebensdauer, da sie vom integrierten Widerstandssensor zur Überwachung des Kühlmediums nur freigeschaltet wird, wenn es erforderlich ist.

Niedrige Instandhaltungskosten
In amcoss Geräten werden nur Qualitätskomponenten verbaut. Dies unterstreichen wir mit einer 2-Jahres-Garantie. Das kundeneigene Servicepersonal kann aufgrund des klaren Komponentenaufbaus und der guten Zugänglichkeit notwendige Wartungsarbeiten selbst ausführen. Das alles reduziert Reparatur- und Instandhaltungskosten.

Niedrige Anschaffungkosten
Unsere Geräte bestechen durch ein hervorragendes Preis-Leistungsverhältnis im Vergleich zu alternativen Anlagen.

amcoss amh Chiller

Für Temperaturen von 0 – 60 °C

amcoss amh Chiller decken in unterschiedlichen Abstufungen einen Temperaturbereich von 0 °C bis 60 °C ab. Wir bieten speziell adaptierte und bereits erprobte Geräte. Sie ersetzen beispielsweise LAM, LAM Dual Loop und AMAT Centura Chiller und werden vorwiegend für das Kühlen und Klimatisieren von Prozesskammern und Ozon-Generatoren, aber auch beispielsweise von elektrostatischen Chucks und Elektroden verwendet.

amcoss amh Chiller Gruppe

Chiller für den Temperaturbereich von 5 – 60 °C

amh 024 amh 024-ac amh 024-R

Wassergekühlte oder luftgekühlte (ac) Version. Erprobte und adaptierte SMC Chiller für den Ersatz von

LAM TCU4080

R-Version: 2 amh 024 in einem speziellen Gestell für den Ersatz von

LAM TCU2080 (dual loop)

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 5 – 60 °C
  • Kühlleistung: 2,4 kW @ 20 °C
  • Pumpenkapazität: Max. 7 bar; typischer Betrieb: 3 bar@13 l/min
  • Kühlung: Wasser or Luft (ac)
  • Betriebsspannung: 1 x 200 – 230 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 377 / 500 / 615 mm
  • Anschlussgröße für das Kühlwasser: G 1/2
  • Gewicht: 43 kg
  • Remote-Schnittstelle: LAM/SPTS
  • Local Mode: Ja
amcoss amh 012 Chiller

amh 030 amh 030-ac amh 030-R

Wassergekühlte oder luftgekühlte (ac) Version. Erprobte und adaptierte SMC Chiller für den Ersatz des

Betta Tech CU700

R-Version: 2 amh 030 in einem speziellen Gestell für den Ersatz von

LAM TCU2080 (dual loop)

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 5 – 60 °C
  • Kühlleistung: 3,0 kW @ 20°C
  • Pumpenkapazität: Max. 7 bar; typischer Betrieb: 3 bar@13 l/min
  • Kühlung: Wasser or Luft (ac)
  • Betriebsspannung: 1 x 200 – 230 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 377 / 500 / 660 mm
  • Anschlussgröße für das Kühlwasser: G 1/2
  • Gewicht: 47 kg
  • Remote-Schnittstelle: LAM/SPTS
  • Local Mode: Ja
amcoss amh 012 Chiller

amh 050amh 060

Wassergekühlte, erprobte SMC Chiller für den Ersatz der AMAT Centura Chiller

Neslab HX150 (CHX)
Neslab HX300

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 5 – 60 °C
  • Kühlleistung: 4,7 kW / 6 kW
  • Pumpenkapazität: Max. 5 bar; typischer Betrieb: 3 bar@20 l/min
  • Kühlung: Wasser
  • Betriebsspannung: 1 x 200 – 230 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 377 / 592 / 976 mm
  • Anschlussgröße für das Kühlwasser: G 1/2
  • Gewicht: 67 kg
  • Remote-Schnittstelle: AMAT Standard P5000/Centura/CHX
  • Local Mode: Ja

Abstellvorrichtung-amcoss-amh-050-Chiller-Temperiergerät_1 Eine optionale Vorrichtung zum Abstellen der externen DI-Wasserpatrone kann auf Wunsch an der Rückseite des Chillers angebracht werden.

amcoss amh 050 Chiller 2

Chiller für den Temperaturbereich von 5 – 40 °C

amh 012

Wassergekühlte, erprobte SMC Chiller für den Einsatz mit z.B. MDC Hotplate
Der Temperaturbereich kann auf Anfrage auf 60 °C ausgeweitet werden.

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 5 – 40 °C
  • Kühlleistung: 1,1 kW @ 20 °C
  • Pumpenkapazität: 1,3 bar @ 7 l/min
  • Kühlung: Wasser
  • Betriebsspannung: 1 x 200 – 230 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 377 / 500/ 615 mm
  • Anschlussgröße für das Kühlwasser: R 1/2
  • Gewicht: 43 kg
  • Local Mode: Ja
amcoss amh 012 Chiller

Chiller für den Temperaturbereich von 0 – 40 °C

amh 032

Wassergekühlte, erprobte SMC Chiller für den Ersatz der LAM Chiller

LAM TCU4080

  • Temperaturbereich des Prozesswassers: 5 – 40 °C
  • Kühlleistung: 3,2 kW @ 20 °C
  • Pumpenkapazität: Max. 10 bar
  • Kühlung: Wasser
  • Betriebsspannung: 1 x 208 – 230 Vac
  • Abmessungen B / L / H: 540 / 550 / 713 mm
  • Anschlussgröße für das Kühlwasser: G 1/2
  • Gewicht: 82 kg
  • Remote-Schnittstelle: LAM
  • Local Mode: Ja
amcoss amh 032 Chiller 2

Highlights

Plug-and-play-amcoss-amh-Chiller-Temperiergerät_1

Plug & Play Funktion

Plug & Play Funktion

Mit dem amcoss Chiller erhalten unsere Kunden eine sofort einsetzbare Lösung: Sie müssen keine eigenen Anpassungen und Adaptionen vornehmen, um einen Betrieb an ihrer Anlage überhaupt zu ermöglichen. Unser Gerät ist bereits qualifiziert, entsprechend vorbereitet, direkt anschließbar und sofort betriebsbereit. Das spart Zeit und somit Kosten.

Controller-amcoss-amh-Chiller-Temperiergerät_1

Proprietärer Controller

Proprietärer Controller

Die Standard-Schnittstelle wird durch einen proprietären Controller ersetzt, der mit einem Touchscreen auf der Oberseite des Chillers zur Bedienung verbunden ist.

  • Für die Auswahl des Lokal- oder Fernsteuerungsmodus
  • Für die Einstellung der aktuellen und angezielten Temperatur
  • Mit Password-Eingabe
  • Für die Auswahl unterschiedlicher Parameter
  • Mit Warnungs- und Alarm-Anzeigen

Ein separater Anschluss wird am Gehäuse angebracht. Somit wird sowohl der Betrieb an der Kundenanlage als auch eine komfortable Bedienung durch den Anwender einfach ermöglicht.

Anschlussstutzen-amcoss-amh-Chiller-Temperiergerät_1

Verschiedene Schnitt­stellen und Anschluss­stutzen

Verschiedene Schnittstellen und Anschlussstutzen

Unsere Chiller unterstützen unterschiedliche Remote-Schnittstellen, wie beispielsweise AMAT 5000 analog, CHX (RS485) sowie für LAM TCU und können mit verschiedenen wählbaren Steckverbindungen (SUB-D 15 Pin, SUB-D 9 Pin, BEAU, etc.) ausgestattet werden. Zusätzlich stehen Verschiedene Fluid-Kupplungen für die Flüssigmedien zur Auswahl, wie z.B. Parker Schnellkupplungen aus Edelstahl mit Bypass oder Magnetventil, Swagelok, etc. So entsteht ein kundenspezifisches Gerät, was die Flexibilität und Einsatzmöglichkeiten erhöht.

Spezialkomponenten amcoss amh Chiller

Individuelle Spezial­komponenten

Individuelle Spezialkomponenten

Bestimmte optionale Ausstattungen mit Spezialkomponenten sind von jedem Kunden individuell wählbar. So ist etwa eine Leitfähigkeitskontrolle oder eine Widerstandsmessung möglich. Der Widerstandssensor kontrolliert den Widerstand des Kühlmediums und regelt dessen Deionisierung. Sobald der Widerstand unter den vom Kunden eingestellten Schwellenwert fällt, wird das Medium über die Entsalzungspatrone geleitet. Ist der Schwellenwert wieder erreicht, wird die Deionisierung automatisch gestoppt. Die Widerstandskontrolle wird über den Controller geregelt und im Display angezeigt.

Vorteile: Der Kühlmittelwiderstand bleibt konstanter, somit ist ebenfalls der Prozessablauf stabiler und sicherer. Die Entsalzungspatrone hält länger, da sie nicht dauerhaft beansprucht wird. Das senkt Betriebsmittelkosten.

Temperaturbereiche-amcoss-amh-Chiller-Temperiergerät_1

Verschiedene Temperatur­bereiche

Verschiedene Temperaturbereiche

Wir bieten Chiller in 3 verschiedenen Temperaturbereichen. So kann das jeweils passendste Gerät für die benötigten Betriebstemperaturen individuell gewählt werden. Dies verhindert, dass über das Ziel hinausgeschossen wird bzw. zu wenig Kühlleistung gegeben ist. Die Kundenprozesse werden so optimal unterstützt.

amcoss amh-024-R chiller 1

Besonderer dual loop Ersatz

Besonderer dual loop Ersatz

Mit dem amh 024-R bzw. 030-R haben wir eine Lösung erschaffen, mit der unsere Chiller auch die LAM dual loop Temperaturkontrolleinheit TCU2080 ersetzen können. Das speziell entwickelte Rack kann auf 2 Ebenen 2 amh Chiller aufnehmen und ist mit dem proprietären Controller ausgestattet. Beide Chiller werden an die im Rack integrierten nötigen Steckverbindungen angeschlossen und so mit der zu kontrollierenden Prozessanlage verbunden.

Konfigurationsbeispiele

1) amh 060 mit Parker Schnellverschlusskupplungen aus Edelstahl mit Bypass und SUB-D 15-Pin Schnittstellenstecker für den Ersatz von HX300

amcoss amh060 Chiller mit Parker Schnellverschluss

2) amh 050 mit BEAU & SUB-D 9-Pin Schnittstellenanschluss

amcoss amh050 Chiller mit beau Anschluss

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